リニア駆動を利用した極低温冷凍機

Abstract

【課題】各段の温度制御および効率に優れ、かつ、多種多様な冷却要件に応えることができる極低温冷凍機およびその動作方法を提供する。 【解決手段】本発明の極低温冷凍機は、第一段と、第二段と、第一段および第二段に高圧のガスを導入し、かつ、第一段および第二段からそのガスを排出するガス制御バルブとを備える。第一段の第1のディスプレーサに接続された第1のリニアモータと、第二段の第2のディスプレーサに接続された第2のリニアモータとにより、第一段および第二段の互いに独立した制御を行う。 【選択図】図1E
A cryogenic refrigerator has a refrigeration cylinder and at least two displacers. Each displacer reciprocates in the refrigeration cylinder and moves refrigeration gas through the refrigeration cylinder. A regenerator cools the refrigeration gas, and gas control valves admit high pressure gas into the refrigeration cylinder and exhaust gas from the refrigeration cylinder. The refrigerator also has linear motors operatively connected to displacers, and the linear motors drive the displacers in reciprocating movement. A position sensor is provided to determine a parameter of the displacers during reciprocation. A controller is operatively connected to the linear motors to control the linear motors. The controller controls a parameter of the two displacers during reciprocation. The parameter can be stroke length, stroke speed, stroke phase or another parameter of the displacer for temperature control of the cryogenic refrigerator. The cryogenic refrigerator may also include a device to remove vibration.

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