酸化ガリウム粉末

Gallium oxide powder

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gallium oxide powder excellent in dispersibility as a gallium oxide powder from which a sputtering target like an In-Ga-Zn composite oxide can be manufactured suitably.SOLUTION: In the logarithmic differential pore volume distribution of the gallium oxide powder as measured by the mercury penetration porosimeter, a peak of the pore volume diameter is present in the range of 0.1 to 1.0 μm, and the pore cumulative volume in the pore volume diameter of 0.1 to 1.0 μm is 0.35 to 0.60 cm/g.
【課題】 In−Ga−Zn複合酸化物などのようなスパッタリングターゲットを好適に製造できる酸化ガリウム粉末として、分散性に優れた酸化ガリウム粉末を提案する。 【解決手段】水銀圧入ポロシメータにより測定される対数微分空隙容積分布において、空隙容積径0.1μm〜1.0μmの範囲内にピークが存在し、且つ空隙容積径0.1μm〜1.0μmの空隙累積容積が0.35cm 3 /g〜0.60cm 3 /gであることを特徴とする酸化ガリウム粉末を提案する。 【選択図】なし

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